光熱誘電率顕微鏡を用いたマイクロ波用誘電セラミックスの誘電率温度特性の評価技術の開発
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概要
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著者らが開発した光熱誘電率顕微鏡を改良し,新たにマイクロ波用誘電セラミックスの誘電率温度特性が評価できる光熱誘電率顕微鏡を作製する.本顕微鏡はマイクロ波領域で動作する為非常に高感度であり,これを用いてマイクロ波用誘電セラミックスの誘電率温度特性の評価を行い,定性的には充分な性能がある事を実証する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-11-25
著者
-
長 康雄
山口大学工学部電気電子工学科
-
桐原 昭雄
電気工学科
-
長 康雄
山口大・工
-
横山 浩二
山口大工
-
桐原 昭雄
山口大学工学部
-
桐原 昭雄
山口大工
-
長 康雄
山口大学工学部
-
横山 浩二
山口大学工学部電気電子工学科
-
熊丸 知之
山口大学工学部電気電子工学科
-
桐原 昭雄
山口大学工学部電気電子工学科
-
熊丸 知之
山口大・工
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