マイクロ波技術を用いた強誘電分極分布の純電気的測定法
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概要
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マイクロ波技術を応用した強誘電分極分布の純電気的計測法(走査型非線形誘電率顕微鏡)について述べている. 本計測法の原理は非線形誘電率のミクロな分布の計測から強誘電分極分布像を得るものである. 特に今回超小型の集中定数型プローブを開発する事により高分解能な分極像を得たのでその結果について詳述する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-11-22
著者
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