干渉計用2周波光源モジュールを用いた変位計測システムの構築
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概要
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我々は前回、導波路型光周波数シフタと可視光LDとを組み合わせ、超小型化、軽量化および光学系の無調整化と高安定化を計った光ヘテロダイン干渉計測に用いる2周波光源モジュールの開発について報告した。今回、この2周波光源モジュールと干渉計を用いて小型で高安定な変位計測システムを構築したので報告する。また、ミラーの変位量の測定から本システムの繰り返し精度および分解能を見積もったのであわせて報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
-
宮城 幸一郎
アンリツ(株)計測器事業部
-
谷口 晃
アンリツ(株)研究所
-
小林 功
株式会社テラテック 第4研究部
-
宮城 幸一郎
アンリツ株式会社r&d本部コアテクノロジーr&dセンター
-
宮城 幸一郎
アンリツ株式会社
-
谷口 晃
インテリジェントセンサーテクノロジー
-
名波 雅也
アンリツ株式会社
-
小林 功
アンリツ(株)研究所第3研究部
-
名波 雅也
アンリツ(株)研究所第3研究部
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- アンリツ株式会社 研究所