光共振器のためのサブナノメータコントロール

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概要

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近年、光通信技術の発達に伴い光設計器の分解能や繰り返し再現性、確度等に高度な要求がなされてきている。このような市場要求に答えるためのキーテクノロジーとして、光学部品を高精度かつ高確度で位置制御することが望まれている。従来、微小領域の位置決めはピエゾ素子により行われてきた。しかしながら、ピエゾ素子による位置決め制御は繰り返し再現性や温度安定性に劣る上、電圧を印加した直後からドリフトが発生する等の問題がある。そこで、我々は金属の熱膨張の線形性に注目し、これを応用して高安定、高精度なアクチュエータを実現する方法について検討した。本報告では熱膨張をアクチュエータとして用いることの有用性について実験的に確認したので報告する。
社団法人電子情報通信学会の論文
1995-03-27

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