ハイブリッド光集積技術
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概要
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光導波路を使った光変調器や光カプラなどが実用レベルに達したことを背景に,光機能の複合化,性能向上,小型化,生産性向上など光デバイス高度化の観点からハイブリッド光集積技術への期待が高まっている.本論文では,石英系プレーナー光波回路への光素子や電子素子のハイブリッド光集積を対象に技術開発状況を概観する.まず集積法を端面ハイブリッド法,表面ハイブリッド法,薄膜ハイブッド法に分類し,それらの手法と特徴を述べる.次に,ハイブリッド光集積の基盤技術である光素子集積,電子素子集積,パッケージングについて技術課題と技術状況を論じる.特に光素子集積に関しては技術課題を光軸アライメント,素子固定,モードフィールド整合,反射防止に細分してやや詳しく述べる.最後にハイブリッド光集積デバイスの製作例を紹介する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-05-25
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