高効率・高出力ジェット放電励起 希ガスエキシマランプの開発
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概要
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真空紫外域の点光源であるパルスガスジェット放電励起キセノンエキシマランプに磁場を印可することで光源の発光出力および効率を約2倍に増加できた。その結果、出力500mW、効率1.6%が得られた。出力・効率の増加は磁場の印可により放電プラズマ内の電子の拡散が抑制されたためと考えられる。
- 1996-05-16
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