低コヒーレント光干渉による屈折率と厚さ同時精密測定 : 原理提案
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概要
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我々は、マイケルソン・低コヒーレント光干渉計を用いた、新たな屈折率nと厚さt同時測定法を提案する。本手法では、参照光ミラー以外に、測定サンプル(透明板)または集光レンズを微動ステージ上に搭載する。サンプル前面と裏面の二つの集光状態における光路差と、これら二つの集光状態を得るための測定サンプルまたは集光レンズの移動距離を測定し、これによって所望のn、tを算出するものである。既存のステージを用いて、t≧100mm厚では測定精度10^<-3>が期待できる。本稿では、測定原理、測定系およぴ実際に即した測定手順の詳細について述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-12-14
著者
-
春名 正光
大阪大学医学部保健学科
-
近江 雅人
大阪大学医学部保健学科
-
白石 偉久
三洋電気(株)
-
田尻 秀幸
大阪大学大学院工学研究科電子工学専攻
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白石 偉久
大阪大学医学部保健学科・大阪大学大学院工学研究科電子工学専攻
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田尻 秀幸
大阪大学医学部保健学科・大阪大学大学院工学研究科電子工学専攻
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