低コヒーレンス光干渉による屈折率と厚さ同時精密測定一測定サンプル走査法の基礎実験と測定精度の検討一

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概要

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我々は前回のOPE研究会で、低コヒーレンス光干渉に基づく新たな屈折率nと厚さt同時測定法を提案した。本測定法では、干渉計の参照光ミラーに加えて、測定サンプルまたは集光レンズをも微動ステージ上に搭載して走査する。本稿では、測定サンプル走査法によるn、t同時測定の基礎実験結果を示し、その測定精度について検討する。現状の測定系では、厚さ〜1mmの透明板においで測定精度≧0.3%が得られ、提案した測定法の有効性を実証した。また、0.1μm/ステップのステージを用いれば、サンプル厚≧100μmで測定精度0.1%が十分に期待できる。
社団法人電子情報通信学会の論文
1996-01-18

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