低コヒーレンス光干渉による屈折率と厚さ同時測定 : 屈折率波長分散を考慮した精密測定と樹脂硬化度の評価
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概要
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我々は低コヒーレンス光干渉を用いた屈折率と厚さ同時測定について検討している。本手法において、0.1%オーダーの測定精度を得るためには、屈折率波長分散を考慮する必要がある。本論文では、まず位相および群屈折率(n_p、n_g)の分離測定を示す。この結果を踏まえて、新たな位相屈折率n_pと厚さtの同時測定法を実証する。このとき、波長分散による屈折率差(n_p-n_p)はn_pすなわち二つの実測量で近似的に表される。さらに、本手法を利用してUV光硬化性樹脂の屈折率を精度〜0.2%で測定することによって、その硬化度を評価した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-02-12
著者
-
春名 正光
大阪大学医学部保健学科
-
丸山 英樹
九州松下電器株式会社技術本部開発研究所
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満山 照樹
大阪大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
清村 圭博
九州松下電器株式会社技術本部開発研究所
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宮崎 富弥
九州松下電器(株)研究本部 材料部品研究所
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