LSIアルミ配線のEM故障に対する信頼度設計
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概要
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EM故障に対する信頼度要求を満たす範囲内で、最大限のLSI性能を発揮できるような配線の信頼度設計法を述べた。LSIの信頼度からトップダウン的に、配線層への信頼度要求値を定めた{例として、寿命25年、故障率200FIT}。統計的要因を加味したEM試験の加速倍率を示し、試験のEM耐性とLSI実使用時の寿命・故障率との関係を明らかにし、信頼度設計の基本式を表した。従来設計法では過剰な信頼度を要求し、LSI性能を制約することを示した。本設計法では、配線を電流ストレスレベルで分類し、各配線の予測故障率に応じて200FITを配分して、電流密度と電流duty比および総配線長の許容設計領域をマップ形式で表わした。さらに誤差要因を解析し、予測故障率の誤差が最大200%になる可能性があることを示し、この予測誤差を吸収する量として信頼性マージンを位置づけ定量化した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-12-15
著者
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