ポリシラン薄膜作製プロセスの最適化および組成物化による高導電化
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概要
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ポリシランはヨウ素などでドープすることによって導電性を示すことが知られているが、電気回路材料として用いるためには、より高い導電性が必要である。そこで、ポリシラン薄膜の導電性を向上させるために、薄膜作成時に起こるポリシランの酸化劣化について要因分析を行った結果、ポリシランを溶媒に溶かした際のポリシランの濃度に大きく依存することが分かった。また、有機導電性ポリマーをポリシランに加えて高導電化することも検討したところ、ポリシランにポリアニリンを添加することによってポリシラン薄膜の導電率が大幅に向上することを見出した。
- 2000-04-28
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