ポリシラン薄膜の光酸化反応 : 定量的評価
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概要
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オルガノポリシランは、ドーピングすることで導電性を発現する反面、空気中で光照射すると容易に酸化されポリシロキサン(絶縁体)に変換される。すなわち、ポリシラン薄膜の特定部位を光酸化させることで導電機能のパターニングが可能となるわけである。このポリシラン薄膜の光酸化の評価をクリスタルマイクロバランスで行ったところ、ポリシランのSi-Si結合がSi-O-Siに変換していく様子を薄膜の重量変化で追跡することができた。また、X線光電子分光法(XPS)によって評価を行うことで、パターニングのイメージングも定量的に行えた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-05-06
著者
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今井 高史
Ge東芝シリコーン
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壁田 桂次
東芝シリコーン
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杉 信一郎
東芝シリコーン
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今井 高史
東芝シリコーン
-
杉 信一郎
東芝シリコーン株式会社技術研究所
-
壁田 桂次
Ge東芝シリコーン株式会社
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