Si基板上にチタン酸鉛を形成したGHz帯薄膜バルク超音波フィルタ

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1998-03-06

著者

• 永塚 勉

  三菱電機株式会社

• 三須 幸一郎

  三菱電機(株)

• 三須 幸一郎

  三菱電機株式会社

• 山田 朗

  三菱電機株式会社

• 前田 智佐子

  三菱電機株式会社

• 永塚 勉

  三菱電機

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