A-11-4 Pt/PbTiO_3/Ir/SiO_2構造の薄膜圧電共振器の試作結果

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2000-09-07

著者

• 三須 幸一郎

  三菱電機(株)

• 三須 幸一郎

  三菱電機株式会社

• 山田 朗

  三菱電機株式会社

• 前田 智佐子

  三菱電機株式会社

• 井幡 光詞

  三菱電機株式会社

• 吉田 憲司

  三菱電機株式会社

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