チタン酸鉛を用いた薄膜バルク超音波共振器
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概要
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半導体基板上に圧電薄膜を構成した薄膜バルク超音波共振器やフィルタは,GHz帯での動作が可能であり,半導体素子との一体化も可能であるため,近年さかんに研究されている.従来,圧電膜として,酸化亜鉛や窒化アルミニウムが広く用いられているが,これに対し,圧電セラミクスは大きな電気機械結合係数が期待できるので,薄膜バルク超音波共振器材料として有望である.本文では,半導体基板上に,圧電セラミクスであるチタン酸鉛を用いた薄膜バルク共振器を試作したので,その試作結果について報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
著者
-
永塚 勉
三菱電機株式会社
-
三須 幸一郎
三菱電機(株)
-
三須 幸一郎
三菱電機株式会社
-
山田 朗
三菱電機株式会社
-
前田 智佐子
三菱電機株式会社
-
伊藤 和彦
三菱電機株式会社
-
中島 康晴
三菱電機株式会社
-
永塚 勉
三菱電機
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