素子間干渉抑制GND付セルを用いたMMIC設計手法
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概要
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近年、システムの小型化のため、マイクロ波デバイスのMMIC化が進められている。MMICの構造として主面にのみ素子を配置するコプレーナ構造はヴァイアホールを必要としないため工程数が少なくコスト面で有利である。また、主面にあるGNDを有効に用いることにより素子間の干渉が少ないレイアウトが可能である。今回は、このコプレーナ構造を用いるMMICにおいて、素子間の分離特性を確保しつつ非常に簡便にレイアウトが可能な、セル型の素子構造、配置を検討したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
著者
-
井上 智利
(株)東芝 個別半導体事業部
-
石田 賢二
(株)東芝 研究開発センター
-
井上 智利
東芝研究開発センター
-
川久 克江
東芝研究開発センター
-
石田 賢二
東芝研究開発センター
-
川久 克江
(株)東芝 研究開発センター 先端半導体デバイス研究所
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