LSI歩留まり低下の前駆現象検出技術 : 不規則性/規則性不良分布の特徴解析
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-03-07
著者
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田中 幹大
Nec評価技術開発本部
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田中 幹大
Necデバイス分析評価技術センター
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杉本 正明
NEC評価技術開発本部
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杉本 正明
NECデバイス評価技術研究所
-
浜田 健彦
NEC ULSIデバイス開発研究所
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