針状電極を有するFET入力型静電電圧測定系の応答特性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
誘導増幅型帯電電圧測定における探針が及ぼす長さの効果について調べるため、パルス電界による高精度な静電電圧測定系を構築した。この測定系を使用し、FET電圧プローブの等価回路によるシミュレーションと実測値がよく一致すること、探針長が長いほど検出電圧が高くなるが空間分解能が低下すること、逆に、探針長が短いほど検出電圧が低下するが空間分解能が向上することを実験により示した。また、FET1個と抵抗1本を使った簡単な電位検出回路でも高精度なFET電圧プローブと同様の電位検出能力を備えることを示し、低価格に帯電電圧を検出できることを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-12-22
著者
関連論文
- 透明性静電気保護膜の試作
- ICの電圧サージによる特性劣化
- 針状電極を有するFET入力型静電電圧測定系の応答特性
- 同時多点帯電電圧測定システムの一構成
- 人体帯電モデル型静電気試験機の放電電流特性 (EMC計測技術論文小特集)
- ICの電圧サージによる特性劣化
- 静電気耐性試験機における放電波形の変動要因
- 雷サージ対策素子の低電圧特性