MEMSを利用したレーザ=ファイバアライメント
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概要
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VCSEL(vertical-cavity surface-emitting laser)と光ファイバ間におけるビームアライメントを行う光モジュールを製作した。モジュールはMEMS(micro-electro-mechanical systems)技術をベースにしており、光ビーム調芯を行うために、熱駆動マイクロミラー、三次元はんだセルフアッセンブリ機能、ファイバ固定用V溝などを1チップに集積させた。マイクロミラーによって、0.08°の精度で最大4.0°まで光軸操舵が可能であり、初期に結合効率9%だったものを80%まで改善することができた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-08-23
著者
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石川 浩嗣
日本発条株式会社 研究開発本部 第一開発室
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石川 浩嗣
日本発条株式会社
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LEE Yung-Cheng
コロラド大学ボールダー校工学部機械工学科
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干 強
横浜国立大学大学院工学研究院システムの創生部門システムのデザイン分野
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Lee Yung-cheng
コロラド大学ボールダー校 工学部 機械工学科
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干 強
横浜国立大学 工学部生産工学科
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