MEMSを利用したレーザ=ファイバアライメント

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概要

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• VCSEL(vertical-cavity surface-emitting laser)と光ファイバ間におけるビームアライメントを行う光モジュールを製作した。モジュールはMEMS(micro-electro-mechanical systems)技術をベースにしており、光ビーム調芯を行うために、熱駆動マイクロミラー、三次元はんだセルフアッセンブリ機能、ファイバ固定用V溝などを1チップに集積させた。マイクロミラーによって、0.08°の精度で最大4.0°まで光軸操舵が可能であり、初期に結合効率9%だったものを80%まで改善することができた。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2002-08-23

著者

• 石川 浩嗣

  日本発条株式会社 研究開発本部 第一開発室

• 石川 浩嗣

  日本発条株式会社

• 〓 強

  横浜国立大学 工学部 生産工学科

• Yung-Cheng LEE

  コロラド大学ボールダー校 工学部 機械工学科

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