RE-TM 膜における磁気特性のスパッタガス種依存性(光記録及び一般)
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概要
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スパッタリングガス種を通常用いられているArガスからKrガスへ変えてRE-TM膜を作製し, その磁気特性を調べた.Krガスを用いて作製すると, Tb-Fe-Co, Gd-Fe-Coともに保磁力H_cおよび磁気異方性K_uは増加した.なお, Ar, Kr成膜でキュリー温度の違いはほとんどなかった.Tb-Fe-CoのH_cは下地層の影響を受けないが, Gd-Fe-Coは下地層の影響を受ける.Tb-Fe-CoのH_cの増加はK_uの増加によるものであり, Gd-Fe-CoではK_uの増加以上にH_cが増加した.またRE-TM膜の下地層をエッチングすると, K_uは変化させずにH_cを減少させることができる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-02-25
著者
-
藤原 裕司
三重大学大学院工学研究科
-
小林 正
三重大学大学院工学研究科物理工学専攻
-
藤原 裕司
三重大学工学部
-
小林 正
三重大学工学部
-
塩見 繁
三重大工
-
塩見 繁
三重大学大学院工学研究科
-
塩見 繁
三重大学工学部物理工学科
-
宇仁 強
三重大学工学部
-
恒岡 雅也
三重大学工学部
-
河地 正敏
三重大学工学部
-
宇仁 強
三重大学大学院工学研究科:(現)株式会社オームズ
-
小林 正
三重大学工学部物理工学科
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