走査型アトムプローブによる電子源材料の原子レベルでの解析
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概要
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個々の表面原子を逐一検出同定できるアトムプローブ(AP)の試料は鋭い先端を持つ針状であるため、応用範囲は限られていた。この制約を除去するために、微細な漏斗型の引出電極を装着した走査型AP(SAP)を開発し、平面状試料の分析が可能となった。また、SAPの試料に印加する負電圧と電界放射電流から得られるI-V特性から分析領域の電子状態が調べられる。こうしたSAPの特性を生かしてシリコン、人工ダイヤモンド、カーボンナノチューブ、グラファイト等の組成分布と電界放射特性、更に構成原子間の結合状態との開連が調べられた。 他方、SAPの引出電極の先端を走査探針とすることにより、SAPを走査型トンネル顕微鏡(STM)として作動させ、試料表面の形状を描き出すことにより所望の領域を分析できる機能を持たせる研究や組成分布を原子レベルの分解能で三次元的に表示できる3D-SAPの開発も進んでいる。
- 2001-12-07
著者
-
谷口 昌宏
金沢工業大学環境・建築学部
-
渡邉 将史
金沢工業大学工学部
-
西川 治
金沢工業大学 工学部 物質応用工学科
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柳生 貴也
金沢工業大学 工学部 物質応用工学科
-
村上 智
金沢工業大学 工学部 物質応用工学科
-
渡邉 將史
金沢工業大学 工学部 物質応用工学科
-
皆藤 孝
セイコーインスツルメント株式会社 科学機器事業部
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近藤 昌子
株式会社東レリサーチセンター表面科学研究部
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谷口 昌宏
金沢工業大学
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近藤 昌子
株式会社東レリサーチセンター 表面科学研究部
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皆藤 孝
セイコーインスツルメンツ(株)科学機器事業部
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村上 智
金沢工業大学工学部
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柳生 貴也
金沢工業大学工学部
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西川 治
金沢工業大学工学部
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谷口 昌宏
金沢工業大学 工学部 物質応用工学科
-
皆藤 孝
セイコーイソスツルメンツ (株) 科学機器事業部
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