アトムプローブによる電子材料の原子レベルの解析と3次元走査型アトムプローブの開発

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概要

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原子の直接観察が可能な電界イオン顕微鏡(FIM)と単一のイオンを検出できる質量分析器を組み合わせたアトムプローブ(AP)を用いてシリコン、人工ダイヤモンド、カーボンナノチューブ、電導性ポリマー等の組成分布や構成原子間の結合状態が調べられた。更に、FIMを電界放射顕微鏡(FEM)として作動させ、電子状態も調べた。ところで、APの試料は鋭い先端を持つ針状であるため、応用範囲が限られていた。この制約を除去するために、微細な漏斗型の引出電極を装着した走査型AP(SAP)を開発し、平面状試料の分析が可能となることを示した。又、組成分布を三次元的に表示できる3D-SAPの開発を紹介する。
社団法人電子情報通信学会の論文
2000-12-07

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