In-Situ THB/HAST/TC装置の開発(LSIシステムの実装・モジュール化技術及びテスト技術,一般)

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概要

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• LSIパッケージとプリント基板の評価に使用するln・Situ THB/HAST/TC装置を開発した。 HAST/THB装置では64-300端子の電源リークを常時測定してストレス印加中の製品の特性劣化の検出が可能となった。TCでは300までの4端子抵抗測定を実行できる。これら装置の概要について述べる。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2004-01-29

著者

• 高橋 良和

  日本アイ・ビー・エム野洲事業所半導体パッケージ製品技術

• 西村 雅史

  アイテス信頼性保証

• 高橋 良和

  日本アイ・ビー・エム野州工場半導体試験技術

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