視斜角入射X線回折法による鋼板イオン窒化層の分析
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概要
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極低角に一定角度でX線を入射する視斜角入射XRD法を用いて,約1.2μmの厚さの鋼板イオン窒化層の構造解析を行った.X線入射角を0.4°以下にすることにより,表面近傍の窒化層だけの回折プロフィルを得ることができた.回折プロフィルのX線入射角依存性について調べた測定結果から回折線ピークの強度比を求めることにより,表面近傍にε-Fe_<2.5>N相が多く存在し,その下にγ'-Fe_4N相,α-Feの順で構成された試料であることを明らかにした.更に,試料へのX線侵入深さのX線入射角依存性について理論的に求めた計算結果は,X線入射角に依存した回折プロフィル変化によく一致した.又,回折X線強度についてもX線入射角依存性を理論的に概算した結果は,測定結果と類似した傾向を示した.
- 1989-10-05
著者
-
高山 透
住友金属工業(株)総合技術研究所
-
松本 義朗
住友金属工業(株)中央技術研究所
-
松本 義朗
住友金属工業(株)総合研究開発センター
-
松本 義朗
住友金属工業(株)
-
高山 透
住友金属工業 総技研
-
高山 透
住友金属工業(株)研究開発本部
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