選択溶解法による窒化アルミニウムの結晶粒及び粒界相の分析
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概要
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高熱伝導性基板用窒化アルミニウム中の結晶粒と粒界相を高精度に分析するため, 選択溶解法を検討した.1.5M塩酸で試料中の未反応Y_2O_3,を溶解し, 不溶解物は2M水酸化ナトリウム溶解後, 残留物を粒界相成分の定量に使用した.結晶粒は2M水酸化ナトリウム溶液により溶解した.主成分のAlはEDTA滴定法, Nは中和滴定法, 更にICP-AES及びX線回折法を併用することで, 高精度に結晶粒と粒界相を分別定量することができた.本分析法の繰り返し分析(n=3)のRSDは〜1%であった.これら分析法によりYを添加した窒化アルミニウムは, 焼結によりY_3Al_5O_12,YAlO_3の2相の粒界相を形成しており, これらが熱伝導性に影響を与えていることが確認された.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1996-12-05
著者
-
林 勝
株式会社東芝研究開発センター
-
小塚 祥二
(株)東芝総合研究所
-
林 勝
(株)東芝研究開発センター環境技術・分析センター
-
遠藤 博
東芝リサーチコンサルティング(株)
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矢吹 元央
(株)東芝研究開発センター
-
矢吹 元央
株式会社東芝研究開発センター
-
加曽利 光男
(株)東芝総研
-
加曽利 光男
東芝 研開セ
-
遠藤 博
東芝リサーチコンサルティング株式会社
-
加曽利 光男
(株)東芝研究開発センター
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