酸気相反応分解法を用いるシリコンウェハー中の超微量金属元素の定量法
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概要
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半導体材料であるシリコンウェハー中の超微量クロム, 鉄, ニッケル及び銅を定量するために, 酸気相分解法と加熱気化ICP質量分析(ETV/ICP-MS)法を組み合わせた.硝酸とフッ化水素酸の混合酸の気相を用いて試料の直接分解を試みた結果, 表面にケイフッ化アンモニウムが形成され, この形成量は反応時間に比例することが分かった.この反応を利用して, エッチング厚さを制御することが可能となった.更に, ETV/ICP-MS測定時におけるケイ素マトリックスの影響を調べ, 測定時の最適条件を検討した.この結果, 従来法と比較して, 用いる試薬からの汚染が大幅に低減し, シリコンウェハー中の超微量金属元素の安定したpg/gレベルの定量方法を確立することができた.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1997-09-05
著者
-
山田 裕司
株式会社東芝研究開発センター
-
岡田 章
日本大学理工学部建築学科
-
岡田 章
社団法人日本分析化学会有害金属成分分析用汚染土壌認証標準物質作製委員会:株式会社テルム環境エンジニアリング本部
-
林 勝
株式会社東芝研究開発センター
-
伊藤 彰子
(株)東芝 セミコンダクター社 半導体プロセス開発第四部
-
伊藤 彰子
(株)東芝半導体事業部
-
林 勝
(株)東芝研究開発センター環境技術・分析センター
-
岡田 章
(株)東芝研究開発センター環境技術・分析センター
-
竹中 みゆき
(株)東芝環境技術研究所
-
山田 裕司
(株)東芝環境技術研究所
-
大森 廣文
(株)東芝環境技術研究所
-
竹中 みゆき
(株)東芝
-
岡田 章
(株)東芝総合研究所
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