旋回気流強化型ヘリウム誘導結合プラズマの分光特性の測定
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概要
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プラズマの安定化手法として, 電磁界による安定化ではなく, プラズマガスの旋回気流による安定化を採用した.そして, 旋回気流強化型ヘリウムICP用トーチを製作した結果, 溶液試料の導入時にも安定なヘリウムプラズマを生成することができた.このヘリウムプラズマの基本特性を調べるため, キャリヤーガス流量と入力電力をパラメーターとして電子密度, 励起温度, 回転温度の分光測定を行った.その結果, ヘリウムICPでは従来のアルゴンICPに比べて溶液試料の影響が大きいこと, 局所的熱平衡が成立していないことが明らかになった.又, アルゴンICPで見られる電子密度や温度のドーナツ形状の空間分布は観測されなかった.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1994-09-05
著者
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