マイクロ波プラズマ質量分析法によるホトレジスト溶液中の微量金属の定量
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概要
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ホトレジスト溶液中に不純物として存在するクロム, マンガン, 鉄, ニッケル, 銅, 鉛を, マイクロ波プラズマ質量分析計(MIP-MS)にて直接分析する手法を検討した.分析に用いるイオン源として, 窒素プラズマ, 空気プラズマ, キャリヤーガスに酸素を添加した酸素-窒素プラズマについて検討を行い, 酸素-窒素プラズマが, 目的元素の感度及びバックグラウンドスペクトルの単純さの点から優れていることが明らかとなった.更に, 酸素-窒素プラズマにおけるキャリヤーガスへの酸素添加量, マイクロ波出力値, 添加回収率について検討を行い, 最適分析条件を決定した.ホトレジスト溶液を, 本法とグラファイト炉原子吸光法にて分析したところ, 極めてよく一致した.本法における各元素の, 3σによる検出下限値は, クロム0.01μg/l, マンガン0.01μg/l, 鉄0.05μg/l, ニッケル0.06μg/l, 銅0.10μg/l, 鉛0.04μg/lであった
- 1994-01-05
著者
-
平木 敬三
近畿大学理工学部
-
白崎 俊浩
株式会社日立ハイテクノロジーズ那珂アプリケーションセンタ
-
白崎 俊浩
日立計測エンジニアリング(株)テクノリサーチセンタ
-
白崎 俊浩
(株)日立サイエンスシステムズテクノリサーチセンタ
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