アルミニウム及びアルミニウム合金中の極微量ウラン及びトリウムの加熱気化 : 誘導結合プラズマ質量分析法による定量
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概要
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LSIの配線材料として使用されるアルミニウム及びアルミニウム合金中の極微量U及びThを定量下限0.01ng/gで定量する方法を研究した.加熱気化/誘導結合プラズマ質量分析法は, マトリックス及び共存元素の影響を受けるため, これらとU及びThとの分離を塩酸濃度6Mに調製した試料溶液を, 陰陽混合イオン交換樹脂カラムに流して行った.加熱気化装置の抵抗発熱体からの汚染を防ぐために, Uはタングステンボートを, Thはモリブデンボートを用い定量した.本法のU及びThの定量下限は各々0.003及び0.005ng/gである.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1993-09-05
著者
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