抽出分離 : タングステン炉原子吸光法による塩化チタン溶融塩中の微量銅の定量(<特集>:分離(その1))(予備濃縮分離)
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概要
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VLSI材料として注目されている薄膜形成用チタン材の精製工程中間物である塩化チタン溶融塩中の微量の銅定量法を確立した.試料を硝酸で分解乾固後, フッ化水素酸で分解して試料溶液とし, エチルフェニルジチオカルバミン酸亜鉛をキレート試薬として, 試料中の銅を亜鉛と置換してエチルフェニルジチオカルバミン酸銅として4-メチル-2-ペンタノンで抽出する.有機相は, 加熱乾固後有機物を分解して1M塩酸で溶解して定容とし, フレームレスAASにより銅を定量する.本法により塩化チタン溶融塩中の銅を精度よく定量することができた.本法の定量下限(から試験値の10σ)は, 試料1gで0.01ppmであった.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1993-11-05
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