半導体用アルミナ基板におけるセラミックス-メタライズ界面ガラス相の選択溶解 : 誘導結合プラズマ発光分析法
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概要
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タングステンメタライズ-アルミナ界面のガラス相の選択分析法について検討した.試料のタングステンメタライズをはく離し, ガラス相を露出させた後, (1+5)硫酸により200℃, 1.5時間の加圧酸分解を行うことによりガラス相のみの選択溶解が可能であった.そこで試料と同一濃度の硫酸及び標準的な試料に含まれるAl, Si, Mg, Caを加えた標準液を用いてICP-AESで分析を行った.その結果溶出量としてサンプル当たり±0.1mg, 組成比としてAl_2O_3,SiO_2が±1wt%, MgO, CaOが±0.5wt%の精度でメタライズ中に浸透したガラス量及び組成の評価が可能となった.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1990-07-05
著者
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