酸溶解/不活性ガス融解法による窒化ケイ素原料粉末の表面酸素の定量

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概要

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窒化ケイ素原料粉末の酸素量, 特に表面酸素量は, 焼結性に大きく影響するため正確な定量が求められる. 希フッ化水素酸溶液で原料粉末表面酸化層を溶解後, 不活性ガス融解法により酸素を定量して, 内部酸素量を求める. 一方, 希フッ化水素酸処理しない原料粉末の全酸素量を不活性ガス融解法で定量し, 全酸素量から内部酸素量を差引いて間接的に表面酸素量を求める. 本法における表面酸素分析値の相対標準偏差は3.2%と再現性は良好であった。また, 1試料当たりの分析に8時間を要した.
2001-01-05

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