電熱気化 : 誘導結合プラズマ質量分析法によるケイ素及び二酸化ケイ素中の超微量ウラン及びトリウムの定量

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概要

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• 試料導入効率の良い黒鉛炉加熱気化装置と誘導結合プラズマ質量分析装置(ICPMS)を用いて、Si結晶及びSi02中のU、ThをO.1pptレベルまで定量可能とした。市販の黒鉛炉加熱気化装置の構造を改良すると共に、高純度タンタルチューブ(厚さ0.5mm)を黒鉛チューブに内挿することによって、U、Thの炭化物生成を抑制した。試料はフッ化水素酸、硝酸及び硫酸で溶解後、蒸発乾固したものを純水で希釈し、電熱気化-ICPMSで測定した。本法は従来のICPMS法に比較して約50倍も高感度であり、超LSI用Si単結晶ウエハー、SiO_2粉末、石英ガラス及び各種薬品のU、Th分析に応用した。

• 1989-02-05

著者

• 松永 秀樹

  (株)東芝総合研究所

• 松永 秀樹

  東芝(株)総合研究所材料応用技術センター

• 平手 直之

  東芝(株)総合研究所材料応用技術センター

• 錦田 晃一

  パーキンエルマージャパン(株)分析機器事業部

• 平手 直之

  (株)東芝研究開発センター環境技術研究所材料応用技術センター

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