グリム放電におけるランプの構造と試料表面粗さの影響
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概要
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グリムランプを試作し,ランプ構造のスペクトル線強度に与える影響,ランプの放電特性及び試料表面の影響を純銅試料を用いて検討した.陽極と陰極(試料)の間隔を狭くし,陽極管の内径を大きくするとスペクトル線強度は強くなる.スパッタリング量は電圧及びアルゴンガス圧力に比例し,換算スパッタリング量は,ある圧力範囲で,電圧のみによって決まる.圧力が高くなると,スパッタリング面の中心より円周部のほうがスパッターされやすくなる.結晶粒と粒界ではスパッタリング速度が異なる.試料表面の粗さはスペクトル線強度に影響を与えるが,陽極管の内径を小さくすると,粗さの影響はほとんどなくなることが分かった.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1977-01-10
著者
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