FIBによる微細加工Co/Cu多層膜のGMR
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概要
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The recording density of HDDs rises at an annual rate of 80 to 100%. High-sensitivity magnetic heads employing the GMR (giant magnetoresistance) effect play an important role in this rapid progress. It is known that current-perpendicular-to-the-plane (CPP) GMR shows higher MR ratios than current-in-plane (CIP) GMR. We performed microfabrication of Co/Cu multilayers using a focused ion beam (FIB) etching machine increase MR ratios by changing the current flow path. Ga contamination of the specimen caused by FIB processing was within 3 nm. As a result, the MR ratio increased from 4.55 % to 8.90 %.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2001-04-15
著者
-
伊藤 彰義
日本大学理工学部
-
中川 活二
日本大学理工学部
-
中川 活二
日本大学
-
伊藤 彰義
日本大学理工学部・電子情報工学科
-
梅原 弘道
日本大学大学院理工学研究科電子工学専攻
-
八代 怜祐
日大院
-
山根 覚
日大院
-
湯浅 健太郎
日大院
-
八代 怜祐
日本大学大学院理工学研究科電子工学専攻
-
山根 覚
日本大学大学院理工学研究科電子工学専攻
-
湯浅 健太郎
日本大学大学院理工学研究科電子工学専攻
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