O_2ビームを利用した反応性蒸着法によるCo-Pd-Mn-O軟磁性膜の作製と磁気特性
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概要
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Co-Pd-Mn-O granular soft magnetic films with high electrical resistivity were successfully prepared by the reactive deposition method using an O_2 molecular beam followed by magnetic field annealing. The films with good soft magnetic properties show H_c of〜0. 3 Oe, 4πM_s of〜7400 G, a uniaxial anisotropy field of〜120 Oe, and resistivity of 〜200 μΩcm. Such films were found to be composed of oxides of Mn and fcc Co-Pd granules with a particle size of 〜1. 5 nm.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2000-04-15
著者
-
島田 寛
東北大科研
-
島田 寛
東北大学科学計測研究所 磁気機能計測研究分野
-
武野 幸雄
東北大多元研
-
武野 幸雄
東北大学科学計測研究所
-
武野 幸雄
東北大学多元物質科学研究所
-
島田 寛
東北大学科学計測研究所
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