反応性蒸着法による高電気抵抗軟磁性グラニュラー膜の高速形成 : Co-Al-Pd-O系膜の場合について

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概要

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• 1998-07-22

著者

• 島田 寛

  東北大科研

• 武野 幸雄

  東北大多元研

• 武野 幸雄

  東北大科研

• 武野 幸雄

  東北大学科学計測研究所

• 武野 幸雄

  東北大学多元物質科学研究所

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