MIマイクロ磁気センサの開発システム : 産学官連携のありかた
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概要
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Principles and mathematical expression of the magneto-impedance (MI) effect in amorphous wires and thin films and the construction of MI micro magnetic sensors using CMOS IC chips are summarized. The CMOS IC MI sensor with 1-2mm long amorphous wires show a resolution of several microgauss with ±1.5 Oe full scale (FS), a response speed of up to several MHz, a power consumption of about 10mW, and a zero drift of less than 0.02%/FS ℃ at temperature between RT and 80℃ when a pulse-synchronous circuit with analog switches is used. MI sensors are already in practical use as environmental electro-magnetic wave detectors, electro-magnetic wave analyzers with a FFT function, and car speed sensors for car navigation systems in cars imported into the Japan. The paper also introduces MI sensor development systems supported by the Japanese government through the MI sensor consortium established by the Japanese Science and Technology Corporation (JST) and the Proposal-Based Promotion Program on Immediate-Effect R & D established by the New Energy Development Organization (NEDO).
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 1999-08-01
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