磁場中熱処理による薄膜MI素子の特性改善
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概要
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The temperature properties of layered thin film magneto-impedance (MI) elements composed of FeCoSiB/Cu/FeCoSiB were investigated for use in a magnetic sensor that remains stable under temperature change. The properties of the layered thin film MI elements as deposited were changed by increasing the temperature or by establishing a temperature cycle of 25℃-100℃. When these MI elements were annealed under a magnetic field at the most suitable temperature, which was 150℃ lower than the curie temperature of the magnetic film, the change in the MI properties due to the temperature increase or the tempaerature cycle was decreased. In particular, the change in inductance due to the temperature increase was small when the Fe_4Co_<74>Si_8B_<14> zero magnetostriction magnetic film was used in the layered thin film MI element.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 1999-04-15
著者
-
野々村 裕
(株)豊田中央研究所 情報・エレクトロニクス部
-
森川 健志
(株)豊田中央研究所
-
西部 祐司
(株) 豊田中央研究所
-
森川 健志
豊田中研
-
山寺 秀哉
(株)豊田中央研究所
-
西部 祐司
(株)豊田中央研究所
-
太田 則一
(株)豊田中央研究所
-
太田 則一
豊田中央研究所
-
野々村 裕
株式会社豊田中央研究所
-
野々村 裕
豊田中研
-
野々村 裕
(株)豊田中央研究所
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