シリコン力変換素子を利用した燃焼圧センサ : ピエゾ抵抗効果のセンサへの応用

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概要

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自動車の燃費向上,エミッション低減が求められている。この要求を応えるため、エンジン燃焼室内の圧力を直接検知し、空燃比を希薄燃焼限界近傍にフィードバック制御する希薄燃焼エンジン用燃焼圧センサを開発した。燃焼圧センサは、金属ダイアフラムで受けた燃焼圧力を、内部のシリコン力変換素子に圧縮力として伝達し、ピエゾ抵抗効果を利用して燃焼圧力に対応した電圧を出力する。この力変換素子は、単結晶シリコンと結晶化ガラスより構成され、その間を陽極接合した構造となっている。本稿では燃焼圧センサおよび力変換素子の原理,構造、陽極接合技術について報告する。
1993-05-20

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