In_2O_3蒸着膜の構造,成長とITO膜の構造との相関 : 薄膜
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概要
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Electron microscopic analyses of indium oxide films containing tin and tin oxides were studied systematically. Indium tin oxides (ITO) film was composed of In_2O_3 and SnO. SnO crystal also contained (110) or (101) crystallographic shear (CS) structure that indicate excess amount of tin.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2000-07-01
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