光反応性化合物を利用したエピタキシャル薄膜の合成 : 薄膜
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概要
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Photoreactive metal organic compounds were synthesized from metal alkoxide by chemical reaction with alkanolamines. Photoreaction of the precursor thin films was achieved by UV irradiation. Amorphous precursor films cured by UV irradiation can remain on the substrate even after leaching process. Epitaxial LiNbO_3_ films were grown on sapphire or LiNbO_3 single crystals.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2000-07-01
著者
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