VGF法による化合物半導体結晶成長時の融液内対流制御に関する数値解析 : バルク成長III
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概要
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Numerical simulation is conducted to study the control of convection in melt during the compound semiconductor crystal growth using the vertical gradient freeze (VGF) method. Numerical simulation showed that the crucible rotation was useful for the convection control.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2000-07-01
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