SiC結晶でのマイクロパイプ欠陥 : バルク結晶成長シンポジウムII
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1996-07-10
著者
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茨木 晃
三洋電機(株)マイクロエレクトロニクス研究所
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山崎 光洋
三洋電機 マイクロエレクトロニクス研究所
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古賀 和幸
三洋電機 マイクロエレクトロニクス研究所
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八木 克己
三洋電機 マイクロエレクトロニクス研究所
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茨木 晃
三洋電機 マイクロエレクトロニクス研究所
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古賀 和幸
三洋電機 (株) 中央研究所
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