LEC法による大型GaAs単結晶成長技術 : 融液成長IV
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1992-06-25
著者
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稲田 知己
日立電線(株) 電線研究所
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柴田 真佐知
日立電線(株) 電線研究所
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稲田 知己
日立電線(株)
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水庭 清治
日立電線株式会社日高工場半導体製造部
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水庭 清治
日立電線(株)
-
田原 迫修一
日立電線(株)
-
柴田 真佐知
日立電線
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