LEC法GaAs結晶の最近の開発動向 : 化合物(<特集>21世紀を担うバルク単結晶)

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概要

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• The recent development of LEC GaAs crystals has been reviewed, with paying attention on 150 mm large crystals. In order to meet the rapidly increasing demand for larger wafers used for microwave devices, crystals of 150 mm in diameter have been successfully developed and are now being produced industrially. The development of this larger wafer is based on technologies such as multi-zone heater furnace technology, three step annealing and polishing technologies.

• 日本結晶成長学会の論文
• 2000-07-15

著者

• 稲田 知己

  日立電線(株)

• 和地 三千則

  日立電線(株)

• 小又 慎史

  日立電線(株)

• 稲田 知己

  日立電線株式会社日高工場半導体技術部

• 和地 三千則

  日立電線株式会社日高工場半導体製造部

• 谷 毅彦

  日立電線株式会社日高工場半導体製造部

• 小又 慎史

  日立電線株式会社日高工場半導体技術部

• 大西 正哉

  日立電線株式会社日高工場半導体技術部

• 水庭 清治

  日立電線株式会社日高工場半導体製造部

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