電子シャワー法によるCuコーティング膜の作成 : 薄膜
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1990-07-20
著者
-
井形 直弘
東京大学工学部
-
湯本 久美
東理大・基礎工
-
井形 直弘
東理大・基礎工
-
湯本 久美
東京理科大学大学院
-
湯本 久美
東京理科大学基礎工学部材料工学科
-
樋貝 和彦
東京理科大学基礎工学部
-
樋貝 和彦
東理大・基礎工
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