シリコンのエピタキシャル成長における表面反応
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1986-07-10
著者
-
高田 俊和
日本電気(株)基礎・環境研究所
-
大下 祥雄
日本電気(株)
-
石谷 明彦
日本電気(株)基礎研究所
-
石谷 明彦
日電・基礎研
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高田 俊和
日電・基礎研
-
大下 祥雄
日電・基礎研
-
谷垣 勝己
日電・基礎研
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