β-SiC単結晶薄膜のCVD成長 : 気相成長
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1983-06-25
著者
-
鈴木 彰
シャープ(株)中央研究所
-
中島 重夫
シャープ 中研
-
猪口 敏夫
シャープ中央研究所
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中島 重夫
シャープ
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古川 勝紀
シャープ(株)技術本部
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鈴木 彰
シャープ中央研究所
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古川 勝紀
シャープ中央研究所
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東垣 良之
シャープ中央研究所
-
原田 茂夫
シャープ中央研究所
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中島 重夫
シャープ中央研究所
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